型式规格
GPR-1200
GPR-1400
GPR-1800
机台型式
标准机型
标准机型
标准机型
基板尺寸
550mm x 650mm
730mm x 920mm
730mm x 920mm
上载盘直径
Ø1000mm 的载盘
Ø1220mm 的载盘
Ø1350mm 的载盘
下研磨盘直径
Ø1200mm 研磨盘
Ø1400mm 研磨盘
Ø1800mm 研磨盘
加压压力
500Kg
600Kg
800Kg
研磨盘速度
5~60 rpm
5~60 rpm
5~60 rpm
抛光马力
30HP
30HP
40HP
电源
3Φ4W AC380V 50/60Hz
3Φ4W AC380V 50/60Hz
3Φ4W AC380V 50/60Hz
设备尺寸
L3000*W2800*
H2500(mm)
H2500(mm)
L3000*W2800*
H2500(mm)
H2500(mm)
L3650*W3300*
H2800(mm)
H2800(mm)
重量
Ø1000mm 的载盘
Ø1220mm 的载盘
Ø1350mm 的载盘
总耗电量
55KVA
55KVA
80KVA
耗风量
150 L/ cycle
150 L/ cycle
250 L/ cycle
产品规格 /
.采用进口厂牌 reducer,输出扭力大、背隙小,并使用锥形齿轮传动,输出效率更佳。.使用变频专用马达,可固定转矩,稳定性较一般马达更好。
.上定盘轴承采用进口厂牌自动对心轴承,寿命长、稳定度佳,提高研磨均匀度。
.转动结构采用多段密封,不易进水。
.摇摆轴承采用进口厂牌,精密度较高且耐用性佳,仅需做定期补给油酯,即能使内部保持润滑,充分减少磨耗损伤状况。
产品功能 /
.去除玻璃刮伤.玻璃减薄
.光罩抛光
产品优点 /
.上下定盘平坦度公差为±0.01mm。使研磨前后平整性佳,技术领先日韩设备。.上下定盘使用特殊钢材制作而成,抗压能力及抗拉强度特高,充分减少使用后变形的情况。
.设备皆自行研发,故可达客制化效果。
.人机操作接口便于人员操控设定,可依客户需求增加设定功能。
.自动控管循环系统,使研磨液反复回流搅拌桶,降低Slurry使用成本。